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丹麥DME原子力顯微鏡DS95Navi介紹

  • 發布日期:2022-04-28      瀏覽次數:1740
    • 公司簡介:
      DME - Danish Micro Engineering A/S 由 Curt Sander 博士于 1979 年創立,是一家專注于微處理器技術和軟件的工程顧問公司。那時,即將到來的新信息技術正在慢慢影響DME的日常生活。許多丹麥公司很早就認識到了微處理器技術的可能性,DME 幫助丹麥公司從經典(主要是模擬)電子技術過渡到微處理器技術,并成為該領域重要的顧問公司之一。丹麥微處理器技術的這一悠久傳統至今仍可見一斑。在 PC 的擴展方面,丹麥在歐洲,在二。
      在此背景下,1987 年底,DME 開始開發臺 SPM 顯微鏡,不久之后,該公司交付了臺 TunnelSCope® 系列儀器,該系列在 1990 年代初被 RasterSCope 取代, DualSCope™ 系列。此時,DME 從一家咨詢公司轉變為一家主要專注于掃描探針顯微鏡的制造公司。RasterSCope 和 DualSCope 產品系列正在穩步進一步開發和補充,在過去 20 年中一直是 DME 的主要業務。因此,DME 是市場上的 AFM、STM 和 SNOM 設備制造商之一。忠實于DME的起源,DME 將軟件作為主要開發項目之一。
      除了標準產品,DME 還對開發各種新產品感興趣。尤其是在掃描探針技術方面,通過DME的經驗和專業知識,DME 可以顯示出非常短的新產品開發時間 - 與其他制造商標準產品的交付時間相當的開發時間。
      2015 年 7 月,DME 被 Semilab Zrt 公司收購,還是和以前一樣繼續生產 SPM。

      產品簡介:
      DME原子力顯微鏡即使從AFM移去樣品,DME原子力顯微鏡Navigator 220TM仍能確保再次觀察到同一個地方。基于參考結構,系統能找到精度在250 nm之內的感興趣區域。DME原子力顯微鏡整個定位過程是全自動和高穩定性,從而完善了長期和短期測試分析一個示例的多個結構特點。DME原子力顯微鏡其主要應用領域是光刻技術中質量控制,納米壓痕和多元工藝分析,例如材料表面工程,納米管,納米顆粒,點和薄層/膜的生長等等。
      樣品臺移動范圍:180nm*180nm
      樣品尺寸:直徑<15mm,厚度<5mm
      定位檢測噪聲:X-Y<0.15nm RMS ,Z=35pm

      技術參數:
      掃描體積:50×50×5mm(DS95-50)或200×200×15mm(DS95-200)

      - XYZ方向探針移動量:于樣本大小! (AFM重要的通用準則)
      - 的機械穩定性(在Z方向的原子步進分辨率0.06 nm的有效值在HOPG)
      - 的掃描速率30Hz
      - 在Z方向的硬件線性掃描運動
      - 在Z方向的噪音水平<0.05 nm的有效值
      - 自我調節激光/懸臂偏轉系統
      - 在AC模式幅度設置<1納米
      - 對懸臂式綜合光軸
      - 即插即用懸臂式,速度,目前市場上的懸臂交流! (*)
      - 由壓電馬達高度敏感的方法步驟(*)
      - SPM模式:交流,包括振幅成像和相位成像特區,包括LFM, MFM, KPFM, EFM, SCM, STM

      產品型號:
      DME原子力顯微鏡Igloo
      DME原子力顯微鏡Compact Granite
      DME原子力顯微鏡Proberstation 150
      DME原子力顯微鏡Navigator 220

      DME原子力顯微鏡的產品特點:
      1、DME原子力顯微鏡DS95 SPM掃描儀的緊湊設計,了其出色的穩定性和掃描速率。
      2、*的即插即用懸臂切換功能確保儀器可以快捷和的操作。
      3、一個集成的光軸為SPM掃描儀在尋找和定位目標過程中提供總體視覺控制。
      4、DME原子力顯微鏡S95 SPM掃描儀作為基本設備提供給所有常用和*的SPM型號。
      5、集成電子元件的掃描頭了在電性SPM模式下的噪音值。
      6、DS95多元底座允許DS95 SPM掃描儀,納米壓痕儀和光學顯微鏡等安裝在DME底座平臺上。

      產品應用:
      DME原子力顯微鏡其主要應用領域是光刻技術中質量控制,納米壓痕和多元工藝分析,例如材料表面工程,納米管,納米顆粒,點和薄層/膜的生長等。

       

      產品系列:

      DME顯微鏡

      DME掃描儀

      DME測量控制器

      DME微電子


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